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EDX600能量色散X熒光光譜儀具有單樣品腔；正比計數器；放大電路；高低壓電源；X光管。

單樣品腔；計算機、噴墨打印機；硅針半導體探測器；放大電路；高低壓電源；X光管無真空腔體

單樣品腔；計算機、噴墨打印機；硅針半導體探測器；放大電路；高低壓電源；X光管。

單樣品腔；計算機、噴墨打印機；硅針半導體探測器；放大電路；高低壓電源；X光管。

單樣品腔；計算機、噴墨打印機；硅針半導體探測器；放大電路；高低壓電源；X光管。